Développement de structures métal/isolant/métal à base d'oxydes à forte permittivité diélectrique

par Ahmad Chaker

Projet de thèse en Nano electronique et nano technologies

Sous la direction de Ahmad Bsiesy.

Thèses en préparation à Grenoble Alpes , dans le cadre de Electronique, Electrotechnique, Automatique, Traitement du Signal (EEATS) , en partenariat avec Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (laboratoire) depuis le 01-10-2014 .


  • Résumé

    Le sujet du thése vise à développer et à élaborer au laboratoire LTM des structures MIM 3D permettant d'atteindre des densités de capacités élevées.Les applications peuvent concerner aussi bien le domaine des DRAM que des MIM RF ou des capacités de découplage.

  • Titre traduit

    Development of metal/insulator/metal structures based on oxide high dielectric permittivity


  • Résumé

    The subject of the thesis is dedicated to the developement of 3D MIM structures to achieve high density capacitance .The applications may concern the field of DRAM and MIM RF.