Recherche Avancée

Thèse soutenue

Étude des mécanismes de dégradation lors du claquage des oxydes de grille ultra minces : application à la fiabilité des technologies CMOS SUB - 0.12 [mu]m

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Auteur / Autrice : Frédéric Monsieur
Direction : Gérard Ghibaudo
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Microélectronique
Date : Soutenance en 2002
Etablissement(s) : Grenoble INPG