Auteur / Autrice : | Christophe Courcimault |
Direction : | Jean-Claude Portal, M. Allen |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Matériaux pour l'Électronique et l'Ingénierie des Plasmas |
Date : | Soutenance en 2005 |
Etablissement(s) : | Toulouse, INSA |
Mots clés
Mots clés contrôlés
Résumé
Le sujet de cette thèse est d'introduire l'utilisation de microsystèmes comme micro-outils aidant à la fabrication de micro- et nano-structures. L'intégration de multiples couches de micromasques dont les positions peuvent être ajustées en temps réel alors que des particules métalliques ou des agents de gravures sont transférés à la surface du substrat permet de contrôler la composition, la forme tridimensionnelle et la taille des structures à l'échelle nanométrique, sans recourir à des technologies de nanolithographie. Cette méthode de structuration est ensuite généralisée à l'ajustement mécanique de la réponse en fréquence de microrésonateurs présentant de large facteur de qualités. Le dépôt de couches métalliques à la surface d'une structure résonante permet d'ajuster son moment d'inertie et sa masse, et par suite d'ajuster sa fréquence de résonance. L'épaisseur des dépôts métalliques est défini par la position d'un micromasque permettant ou non aux atomes de métal d'atteindre l'élément résonant. Afin d'intégrer les microrésonateurs et micromasques, deux techniques de re-surfaçage à basses température ont été développées.