Etude comparative de differentes techniques de recuit rapide sur les defauts electriquement actifs dans l'arseniure de gallium non implante

par Ghanem Marrakchi

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de ALAIN NOUAILHAT.

Soutenue en 1987

à Lyon, INSA .

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  • Résumé

    Etude des effets de traitements thermiques rapides sur les proprietes electriques de l'asga non implante. Trois types de recuit ont ete consideres : electronique pulse par laser continu et rapide isotherme par lampe. Les caracteristiques capacite-tension et courant-tension ont ete obtenues; les defauts ont ete etudies par spectrometrie transitoire de niveau profond. L'etude comparative des differents types de recuit introduit une discussion sur la technologie la plus appropriee au traitement thermique de l'asga

  • Titre traduit

    A comparative study of different rapid annealing techniques on electrically active defects in unimplanted gallium arsenide


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  • Détails : 103 P.
  • Annexes : 73 REF

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