Modélisation multi-échelle de la gravure du silicium par plasma fluoré à couplage inductif

par Yehya Haidar

Projet de thèse en Chimie des matériaux

Sous la direction de Ahmed Rhallabi et de Fadia Jaher.

Thèses en préparation à Nantes Université en cotutelle avec l'Université Libanaise de Beyrouth , dans le cadre de Matière, Molécules Matériaux en Pays de la Loire (Nantes) depuis le 20-11-2012 .

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