Thèse en cours

Plan d'inspection unifié - Un nouveau modèle pour améliorer le contrôle des produits et du système de production des semi-conducteurs.
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Auteur / Autrice : Allwell Dilosi
Direction : Ali Siadat
Type : Projet de thèse
Discipline(s) : Génie industriel
Date : Inscription en doctorat le 15/04/2021
Etablissement(s) : Paris, HESAM
Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale Sciences des métiers de l'ingénieur
Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : LCFC Laboratoire de Conception Fabrication Commande
établissement de préparation de la thèse : Paris, ENSAM

Résumé

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Lors d'un processus de production de plaquettes (appelé route), une grande quantité de données est collectée en temps réel puis stockée dans les bases de données appropriées. Les données de contrôle comprennent entre autres les données des capteurs, les données de mesure et les données de maintenance. Ces données sont liées et générées par des systèmes de surveillance. Le système de détection et de classification des défauts (FDC) est mis en œuvre pour surveiller la production en temps réel à l'aide de différents capteurs implémentés, contrairement à la méthode SPC (Statistical Process Control), qui utilise les données de mesure récupérées à la fin des opérations de traitement. Le contrôleur R2R (Run to Run) utilise les données de mesure des exécutions précédentes (opérations) et des exécutions ultérieures comme entrée pour modifier les paramètres de recette pour les exécutions ultérieures. Lors de la planification d'un nouvel itinéraire, les données de contrôle historiques provenant de différents systèmes de surveillance (par exemple, FDC, SPC, R2R, etc.) de recettes similaires, PFMEA, normes industrielles, etc. sont utilisées comme entrées pour définir le nouveau plan de contrôle ou le plan d'inspection. Certaines données sont liées au produit (ex. SPC) ; d'autres sont liés aux équipements de production (ex. FDC). Il existe un manque de cohérence important entre les données provenant de différentes sources. Bien que les différents systèmes de surveillance soient fonctionnellement indépendants, des relations possibles entre les mesures et les paramètres du système de production existent et n'ont pas été cartographiées. Par conséquent, cette thèse cherche à cartographier les relations entre les données disparates provenant de ces systèmes de contrôle. À l'aide de ces résultats, un modèle de plan de contrôle de référence reliant les données de contrôle qualité et de production peut être créé. Ce modèle de référence donne une image unique intégrée des contrôles existants pour un produit, un équipement ou un processus. Une nouvelle évaluation des risques peut être réalisée pour le système de production. En effectuant cette évaluation des risques, un plan d'inspection unifié peut être conçu. Cela permettra de générer des plans d'action produit/processus de production en temps réel garantissant une vision complète des faiblesses de détection. Ce travail de recherche vise à améliorer les systèmes de gestion de la qualité des semi-conducteurs en développant un modèle de référence pour les plans de contrôle ainsi qu'une méthode pour évaluer l'efficacité des plans de contrôle mis en œuvre. Cette recherche prend en compte les composants critiques liés à la conception et à l'exécution de plans de contrôle, y compris les plans d'échantillonnage et la capacité de métrologie. La méthodologie implique la modélisation et l'analyse des données pour l'agrégation de données provenant de plusieurs sources indépendantes et méthodes de contrôle, la mise en place d'un système d'aide à la décision basé sur des études de cas industriels d'évaluation des risques, ainsi que l'élaboration de plans d'action en temps réel.