Thèse en cours

Gravure par plasma de matériaux à base de boîtes quantiques
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Auteur / Autrice : Nicolas Le brun
Direction : Gilles Cunge
Type : Projet de thèse
Discipline(s) : Nano électronique et Nano technologies
Date : Inscription en doctorat le 05/03/2021
Etablissement(s) : Université Grenoble Alpes
Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble ; 199.-....)
Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Laboratoire des Technologies de la Microélectronique

Mots clés

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Résumé

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Les technologies imageurs développées chez STMicroelectronics sur des composants silicium sont très présentes dans différentes applications de la vie quotidienne comme la téléphonie, ou l'automobile et occupent donc une place de plus en plus grande dans notre quotidien. Afin d'améliorer l'efficacité des capteurs optiques nouvelle génération en cours de développement sur le site de Crolles, l'une des solutions innovantes consiste à introduire des matériaux à boites quantiques « quantum dot » dans les pixels afin d'étendre leur photosensibilité dans l'infrarouge. Ces matériaux comprennent des particules métalliques (par exemple du plomb) encapsulées dans une matrice de polymère et la fabrication de l'imageur nécessite la gravure anisotrope par plasma de structures à fort facteur d'aspect dans ce nouveau matériau. Plusieurs problèmes se posent alors qui seront étudiés dans cette these. Le but de cette thèse sera alors de déterminer la chimie de gravure la plus adaptée selon la nature des « dots », de comprendre les mécanismes physico-chimiques des réactions de surface et sur les flancs de gravure en fonction de l'environnement (morphologie, empilement, effet mémoire du réacteur,…) et d'apporter les solutions qui permettront d'assurer l'industrialisation du procédé.