Thèse en cours

Développement d'un nouveau procédé de polissage mécano-chimique d'oxyde de silicium pour les caissons d'isolations de dispositifs microélectroniques.
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Triangle exclamation pleinLa soutenance a eu lieu le 27/09/2019. Le document qui a justifié du diplôme est en cours de traitement par l'établissement de soutenance.
Auteur / Autrice : Sophia Bourzgui
Direction : Agnés Roussy
Type : Projet de thèse
Discipline(s) : Microélectronique
Date : Inscription en doctorat le 20/06/2016
Soutenance le 27/09/2019
Etablissement(s) : Lyon
Ecole(s) doctorale(s) : Ed Sis 488
Partenaire(s) de recherche : établissement opérateur d'inscription : École nationale supérieure des mines (Saint-Etienne ; 1816-....)