Développement d'un nouveau procédé de polissage mécano-chimique d'oxyde de silicium pour les caissons d'isolations de dispositifs microélectroniques.
FR
Auteur / Autrice : | Sophia Bourzgui | |
Direction : | Agnés Roussy | |
Type : | Projet de thèse | |
Discipline(s) : | Microélectronique | |
Date : | Inscription en doctorat le 20/06/2016 | Soutenance le 27/09/2019 |
Etablissement(s) : | Lyon | |
Ecole(s) doctorale(s) : | Ed Sis 488 | |
Partenaire(s) de recherche : | établissement opérateur d'inscription : École nationale supérieure des mines (Saint-Etienne ; 1816-....) |