Développement de systèmes de contrôle in situ des propriétés optiques de filtres interférentiels
Auteur / Autrice : | Severin landry Nadji |
Direction : | Michel Lequime |
Type : | Projet de thèse |
Discipline(s) : | Optique, Photonique et Traitement d'Image |
Date : | Soutenance en 2018 |
Etablissement(s) : | Aix-Marseille |
Ecole(s) doctorale(s) : | Physique et sciences de la matière (352) |
Jury : | Président / Présidente : Philippe Delaporte |
Examinateurs / Examinatrices : Anna Sytchkova, Antoine Moreau, Catherine Grezes-besset | |
Rapporteurs / Rapporteuses : Antoine Goullet, Pascal Picart |
Résumé
La réalisation de fonctions de filtrage complexes nécessite une parfaite maîtrise du processus de dépôt ainsi qu’un contrôle précis et en temps réel de l’épaisseur optique des couches déposées. Au cours de ma thèse, consacrée au développement de nouvelles modalités de contrôle optique in situ, je me suis particulièrement intéressé à deux sujets différents, à savoir : - D’une part, la détermination de la dépendance spectrale des constantes optiques (indice de réfraction et coefficient d’extinction) de matériaux diélectriques. Un moyen possible pour effectuer cette détermination consiste à utiliser un système de contrôle optique large bande afin d’enregistrer les spectres de transmission de l’empilement au fur et à mesure de sa formation. En effet, l’évolution temporelle, à chaque longueur d’onde, de ces spectres de transmission contient des informations quantitatives liées aux constantes optiques que nous souhaitons déterminer. - D’autre part, la mesure en temps réel du coefficient de réflexion (r) d’un empilement, en amplitude et en phase, lors de son dépôt. En effet, les méthodes de contrôles optiques en intensité présentent des limitations que la connaissance de l’information de phase devrait permettre de contourner. Cette mesure est réalisée par interférométrie holographique digitale à faible cohérence sur un substrat éclairé par sa face arrière et dont la face avant est équipée d’un masque annulaire. Ceci donne accès aux information de phase et d’amplitude recherchées tout en s’affranchissant des vibrations générées par le fonctionnement de la machine de dépôt ainsi que du mouvement de rotation à 120 tours par minute qu’effectue le porte-substrat.