Aomar Ait Saada
IdRefMots clés
FR
Fabrication microélectronique
Dépôt
Dépôt plasma
Haute fréquence
Condition opératoire
Appareillage
Décharge luminescente
Caractéristique courant tension
Sonde électrostatique
Oxydation
Passivation
Surface
Couche mince
Substrat
Indium phosphure
Microelectronic fabrication
Deposition
Plasma deposition
High frequency
Operating conditions