Yves Robach
IdRefMots clés
FR |
EN
Matériaux piézoélectriques
Sol-gel
Oxydes fonctionnels
MEMS pour récupération d’énergie
Pulvérisation cathodique
PZT
BTO
BFO
ALN
Systèmes microélectromécaniques
Silicium
Épitaxie par faisceaux moléculaires
Micro Electroérosion
Silicium poreux
Photoluminescence
Capteurs (technologie)
Usinage
PZT (Pb(Zr1-x,Tix)O3)
SRO (SrRuO3)
Ferroélectrique