14FDSOI  Anisotropie  Base de Riesz  Circuits intégrés tridimensionnels  Composites polymères  Conditionnement  Contraintes  Contraintes thermomécaniques  Copolymères  Copolymères séquencés  Copolymères à blocs  DSA  Différences finies  Diélectriques  Dynamique moléculaire  Défauts induits par plasma  Dégradation des résines  Déplacement de grille  Dépôt chimique en phase vapeur  Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma  Dépôt physique en phase vapeur  Espaceur  Fiabilité  Fib sem  Formules asymptotiques  Gravure  Gravure par plasma  Gravure plasma  Gravure profonde  Grille métalique  High K metal gate  Hydrocarbures fluorés  InGaAs  Interactions plasma-surface  Intégration 3D  Ions -- Implantation  Ions  Lithographie  Micro-Nano-Filtration  Microtechniques  Microélectronique  Microélectronnique  Nanotechnologie  Nanotubes  Opérateurs différentiels  PS-B-PMMA  Packaging  Permittivité  Phosphure d'indium  Plasma  Plasmas  Plasmas froids  Plasmas microondes  Plasmas pulsés  Polymère  Polymères  Potentiel matriciel  Procédé Bosch  Procédés  Procédés de gravure plasma  Rugosité  Semiconducteurs -- Dopage  Semiconducteurs -- Effets des plasmas  Semiconducteurs dopés  Silice  Silicium -- Couches minces  Silicium -- Substrats  Silicium  Silicium-chlore  Simulation  Simulations  Spacer patterning  Spectroscopie de masse  Spectroscopie de photoélectrons  Stochasticité  Sub 14 nm  TSV  Technique  Technique des plasmas  Tem edx  Tension de rupture  Tension de seuil  Thèses et écrits académiques  Transistors  Transistors MOSFET  Transistors bipolaires  Transistors en couches minces  Transistors finFET  Transistors à effet de champ  Valeurs propres  Variables aléatoires  Verre de silice  Xps  

Christophe Cardinaud a dirigé les 12 thèses suivantes :

Sciences et technologies de l'information et de la communication
Soutenue le 16-02-2017
Thèse soutenue

Sciences des matériaux. Plasma, couches minces et nanostructures
Soutenue en 2007
Thèse soutenue

Sciences appliquées
Soutenue en 1997
Thèse soutenue


Christophe Cardinaud a été rapporteur des 11 thèses suivantes :


Christophe Cardinaud a été membre de jury de la thèse suivante :