Mise au point d'une méthode non-destructive de mesure de mesure de la teneur en vapeur d'eau d'un boîtier hermétique, à cavité, de composant électronique par capteur hygrométrique in-situ à conductivité de surface

= Development of a non destructive moisture measurement method in a sealed electronic component package by means of in situ surface conductivity hygrometric sensor

• Auteur / Autrice : Didier Kane
• Direction : Pierre Pinard
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Electronique
• Date : Soutenance en 1985
• Etablissement(s) : Lyon, INSA
• Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : LPM - Laboratoire de Physique de la Matière
• Partenaire(s) de recherche : Entreprise : Thomson-CSF. Division Tubes électroniques

Mots clés

Mots clés contrôlés

Vapeurs

Microcapteurs

Composants électroniques

Résumé

Cette thèse a pour but de démontrer qu'un capteur inter-digité à conductivité de surface peut permettre la mesure en absolu de la teneur en vapeur d'eau d'un boîtier hermétique de composant électronique. On trouvera tout d'abord, outre certains rappels et une rapide présentation des autres méthodes de mesure, la description détaillée du nouveau banc de test que nous avons mis au point (qui permet de travailler, soit sous vide, pour effectuer des mesures sur des positifs hermétiquement encapsulés, soit en atmosphère humide contrôlée, pour les études physiques et les calibrations sur boîtiers ouverts), puis de son automatisation. Ensuite, sera proposée une interprétation de la courbe de réponse d'un tel capteur (polarisé en continu) , qui correspond à l'évolution de son courant de fuite interélectrodes en fonction de la température lors du refroidissement du boîtier. Cette interprétation est basée sur l'étude des phénomènes d'adsorption, de changements de phase, d'électrolyse, et des réactions électrochimiques. La clarification de la position sur cette courbe de la température de rosée/gel permet la détermination directe de la teneur en eau. En vue de l'optimisation future du capteur, des essais spécifiques permettent alors de proposer des hypothèses sur certains phénomènes physiques pouvant influer sur sa précision ou sur sa durée de vie. Enfin, on y trouvera une approche de la limite de sensibilité d'un tel capteur, basée sur l'étude des changements de phase des molécules d'eau physisorbées dans les micro-porosités de l'oxyde