Laryssa Carvalho de Araujo
IdRefMots clés
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PZT épitaxié à température ambiante
MEMS piézoélectrique actionnés
MEMS épitaxiés
MEMS résonnant
Poutres à double serrage
Contrainte locale
Titanozirconate de plomb
Systèmes microélectromécaniques
Couches minces piézoélectriques
Transducteurs piézoélectriques
Hétéroépitaxie
Poutres
Relaxation des contraintes
Tensions (chimie)
Contraintes résiduelles
Manganites
Nitrure d'aluminium