Wei-Zhen Yao
IdRefMots clés
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Microélectronique
Gauchissement
Empilement de films minces
Caractérisation mécaniques
Contraintes résiduelle et intrinsèque
Modélisation par éléments finis
Homogénéisation
Empilements lamellaires
Silicium -- Couches minces
Silicium -- Substrats
Déformations (mécanique)
Condensateurs électriques
Contraintes (mécanique)
Éléments finis, Méthode des
Nanoindentation
Plaquettes à gravure en semiconducteurs