Thèse soutenue

Combinaisons de procédés lithographiques ascendants et descendants pour la fabrication de nanostructures sur grandes surfaces pour la photonique
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Auteur / Autrice : Thomas Bottein
Direction : David GrossoLuc Favre
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique et sciences de la matière. Matière condensée et nanosciences
Date : Soutenance le 09/07/2018
Etablissement(s) : Aix-Marseille
Ecole(s) doctorale(s) : Ecole Doctorale Physique et Sciences de la Matière (Marseille)
Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Institut Matériaux Microélectronique Nanosciences de Provence (IM2NP) (Marseille, Toulon)
Jury : Président / Présidente : Étienne Duguet
Examinateurs / Examinatrices : Marc Zelsmann, Marco Faustini
Rapporteurs / Rapporteuses : Christophe Sinturel, Nathalie Destouches

Mots clés

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Mots clés libres

Résumé

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Le but de cette thèse est d'adopter une approche hybride par la combinaison des méthodes de lithographie ascendantes et descendantes pour la fabrication de nanostructures avec des propriétés structurales et optiques d’intérêt. Cette approche multidisciplinaire est un domaine vaste ou les combinaisons prometteuses sont nombreuses mais restent inexplorées jusqu'à présent. Ces travaux vont s’intéresser aussi bien à la chimie des matériaux qu'aux techniques de nanofabrication de salle blanche afin d'apporter des solutions pratiques aux problèmes actuels rencontrés en nanofabrication. Plus précisément, nous nous intéressons à l’étude de certaines techniques de lithographies (en particulier à la nano-impression) et démontrons la possibilité d’améliorer la cadence de fabrication en obtenant des nanostructures sur une échelle de plusieurs centimètres carrés. Les nanostructures fabriquées sont principalement utilisées comme résonateurs de Mie pour leurs propriétés optiques et leur capacité à modifier la lumière incidente. Des démonstrateurs de plusieurs millimètres carrés sont réalisés et montrent des propriétés optiques intéressantes soulignant la viabilité de notre approche.