@PHDTHESIS{duran2016,
url = "http://www.theses.fr/2016GREAY081",
title = "Caractérisation et contrôle industriel des contraintes locales en microélectronique : applications aux transistors de technologie 20 nm",
author = "Durand, Aurèle",
year = "2016",
note = "Thèse de doctorat dirigée par Gergaud, Patrice et Ossikovski, Razvigor Physique appliquée Université Grenoble Alpes (ComUE) 2016",
note = "2016GREAY081",
url = "http://www.theses.fr/2016GREAY081/document",
}