TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2015ISAL0003
TI  - Conception, fabrication et caractérisation d'un microphone MEMS
AU  - Czarny, Jaroslaw
A3  - Guyader, Jean-Louis
PY  - 2015
N1  - Thèse de doctorat Acoustique Lyon, INSA 2015
N1  - 2015ISAL0003
UR  - http://www.theses.fr/2015ISAL0003/document
ER  -