Thèse soutenue

Réalisation et caractérisation de CMUT basse température pour applications d'imagerie médicale
FR  |  
EN
Accès à la thèse
Auteur / Autrice : Emilie Bahette
Direction : Daniel Alquier
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Electronique
Date : Soutenance le 01/12/2014
Etablissement(s) : Tours
Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire)
Partenaire(s) de recherche : Equipe de recherche : Laboratoire GREMAN (Tours)
Laboratoire : École polytechnique universitaire (Tours)
Jury : Président / Présidente : Livu Nicu
Examinateurs / Examinatrices : Jean-François Michaud, Alessandro Stuart Savoia
Rapporteurs / Rapporteuses : Corinne Dejous, Joseph Lardies

Résumé

FR  |  
EN

Les cMUT sont des microsystèmes principalement utilisés pour de l’imagerie médicale. Afin de développer de nouvelles architectures de sondes, intégrer l’électronique de commande devient impératif. Pour y parvenir, la température du procédé de réalisation ne doit pas excéder 400°C. Cela nécessite donc de revoir les procédés et matériaux utilisés. Pour répondre à cette problématique, nous avons utilisé une électrode originale en siliciure de nickel obtenu à 400°C, une couche sacrificielle en nickel et une membrane en nitrure de silicium déposée à 200°C. Des cMUT ont été fabriqués sur un substrat silicium. Ils présentent les caractéristiques souhaitées à savoir une forte fréquence de résonance (16,4MHz), une tension de collapse maitrisée (65V) et un coefficient de couplage électromécanique satisfaisant (0,6). De plus, le procédé développé peut être étendu à d’autres types de substrats.