TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2014NANT2023
TI  - Simulation multi-échelle de la gravure profonde du silicium par procédé Bosch
AU  - Pateau, Amand
A3  - Rhallabi, AhmedBoufnichel, Mohamed; Roqueta, Fabrice
PY  - 2014
SP  - 1 vol. (186 p.)
N1  - Thèse de doctorat Génie des procédés, Plasmas froids Nantes 2014
N1  - 2014NANT2023
UR  - http://www.theses.fr/2014NANT2023/document
ER  -