Nouvelles méthodes d'imagerie haute résolution pour l'analyse des composants nanoélectroniques

• Auteur / Autrice : Kai Shao
• Direction : Dean Lewis, Vincent Pouget
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Electronique
• Date : Soutenance le 02/10/2012
• Etablissement(s) : Bordeaux 1
• Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale des sciences physiques et de l’ingénieur (Talence, Gironde)
• Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Laboratoire de l'intégration du matériau au système (Talence, Gironde)
• Jury : Président / Présidente : Nathalie Malbert
• Jury : Examinateurs / Examinatrices : Frédéric Darracq, Frédéric Wrobel
• Jury : Rapporteurs / Rapporteuses : Philippe Delaporte, Philippe Perdu

Mots clés

Mots clés contrôlés

AMDE, Méthode

Lasers femtoseconde

analyse

Composants électroniques

Nanoélectronique

Mots clés libres

Nonlinéaire

Optique

Analyse de défaillance

Microélectronique

Nonlinear

Optics

Failure analysis

Microelectronique

Résumé

-Utilisation de l’interaction non-linéaire entre des impulsions laser (proche infrarouge) ultracourtes et le silicium, en mode d’absorption multiphotonique ou de génération d’harmoniques optiques, pour la stimulation et le test photo-électrique. - Développement des méthodes d’imagerie statique et dynamique pour l’analyse de défaillance en appliquant les techniques d’optique femtoseconde sur circuits intégrés. - Modélisation de l’interaction laser-silicium avec la méthode FDTD (Rsoft).

Using the nonlinear interaction between ultra-short laser pulses (λ ~ 0.8μm to1.3μm) and silicon, with multi-photon absorption or optical harmonic generation, to achieve photoelectric stimulation and testing. Development of imaging methods for static and dynamic failure analysis techniques using femtosecond laser (TOBIC, 2pLADA) on integrated circuits.