TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2011GRENT073
TI  - Etude de dispositifs à film mince pour les technologies sub-22nm basse consommation
AU  - Huguenin, Jean-Luc
A3  - Ghibaudo, Gérard; Skotnicki, Thomas
PY  - 2011
N1  - Thèse de doctorat Sciences et technologie industrielles Grenoble 2011
N1  - 2011GRENT073
UR  - http://www.theses.fr/2011GRENT073/document
ER  -