Auteur / Autrice : | Alexandre Hubert |
Direction : | Gérard Ghibaudo, Thomas Ernst |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Micro et nanoélectronique |
Date : | Soutenance en 2010 |
Etablissement(s) : | Grenoble INPG |
Ecole(s) doctorale(s) : | École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble199.-....) |
Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : Laboratoire d'électronique et de technologie de l'information (Grenoble ; 1967-....) - Institut de microélectronique, électromagnétisme et photonique - Laboratoire d'hyperfréquences et de caractérisation (Grenoble) |
Jury : | Président / Présidente : Sorin Cristoloveanu |
Examinateurs / Examinatrices : Rachid Bouchakour, Stéphane Monfray, Barbara De Salvo | |
Rapporteurs / Rapporteuses : Adrian M. Ionescu, Salvatore Lombardo |
Mots clés
Résumé
Face à l’explosion de la quantité et du type d’information à partager, les mémoires doivent perpétuellement augmenter leur densité. Pour faire face à cette demande, les mémoires de travail (DRAM) et les mémoires de stockage (Flash) doivent développer de nouvelles architectures. Dans cette thèse, nous avons étudié expérimentalement deux solutions pour améliorer la densité des mémoires. Pour les mémoires Flash, nous proposons une nouvelle architecture 3D à base de nanofils SONOS empilés pouvant évoluer en mémoire 3D complète. Pour les mémoires DRAM, les transistors FDSOI programmés par l’effet MSD ont démontré des propriétés intéressantes en tant que cellules DRAM sans capacité. Afin de répondre à des besoins en mémoires de plus en plus diversifiés, nous avons enfin étudié la possibilité de combiner les mécanismes de programmation SONOS et DRAM dans une cellule mémoire unifiée dérivée de l’architecture de nanofils SONOS empilés, appelée Φ-Flash