Thèse soutenue

Mémoires innovantes à base de nanofils de silicium
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Auteur / Autrice : Alexandre Hubert
Direction : Gérard GhibaudoThomas Ernst
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Micro et nanoélectronique
Date : Soutenance en 2010
Etablissement(s) : Grenoble INPG
Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble199.-....)
Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Laboratoire d'électronique et de technologie de l'information (Grenoble ; 1967-....) - Institut de microélectronique, électromagnétisme et photonique - Laboratoire d'hyperfréquences et de caractérisation (Grenoble)
Jury : Président / Présidente : Sorin Cristoloveanu
Examinateurs / Examinatrices : Rachid Bouchakour, Stéphane Monfray, Barbara De Salvo
Rapporteurs / Rapporteuses : Adrian M. Ionescu, Salvatore Lombardo

Résumé

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Face à l’explosion de la quantité et du type d’information à partager, les mémoires doivent perpétuellement augmenter leur densité. Pour faire face à cette demande, les mémoires de travail (DRAM) et les mémoires de stockage (Flash) doivent développer de nouvelles architectures. Dans cette thèse, nous avons étudié expérimentalement deux solutions pour améliorer la densité des mémoires. Pour les mémoires Flash, nous proposons une nouvelle architecture 3D à base de nanofils SONOS empilés pouvant évoluer en mémoire 3D complète. Pour les mémoires DRAM, les transistors FDSOI programmés par l’effet MSD ont démontré des propriétés intéressantes en tant que cellules DRAM sans capacité. Afin de répondre à des besoins en mémoires de plus en plus diversifiés, nous avons enfin étudié la possibilité de combiner les mécanismes de programmation SONOS et DRAM dans une cellule mémoire unifiée dérivée de l’architecture de nanofils SONOS empilés, appelée Φ-Flash