TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2009ISAT0021
TI  - Modelling and optimization of electrostatic membrane-based actuators
AU  - Maj, Cezary
A3  - Pons, Patrick; Napieralski, Andrzej
PY  - 2009
SP  - 1 vol. (176 p.)
N1  - Thèse de doctorat Conception des circuits micrélectroniques et microsystèmes Toulouse, INSA 2009
N1  - Thèse de doctorat Conception des circuits micrélectroniques et microsystèmes Politechnika Łódzka 2009
N1  - 2009ISAT0021
ER  -