@PHDTHESIS{dhall2009, url = " http://www.theses.fr/2009GRE10066", title = "Nanofils de Silicium : Dépôt chimique en phase vapeur assisté par catalyseurs métalliques et prémices d'intégration", author = "Dhalluin, Florian", year = "2009", pages = "1 vol. ( p.)", note = "Thèse de doctorat dirigée par Baron, Thierry Micro et nanoélectronique Grenoble 1 2009", note = "2009GRE10066", }