Blindage électromagnétique des circuits intégrés par dépôt de couches minces métalliques

Electromagnetical shielding of integrated circuits with thin film metal deposition

• Auteur / Autrice : Oussama Alilou
• Direction : Philippe Descamps
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Électronique et microélectronique
• Date : Soutenance en 2009
• Etablissement(s) : Caen

Mots clés

Mots clés contrôlés

Champs magnétiques

Champs électriques

Couches minces métalliques

Champs électromagnétiques

Blindage (électricité)

Compatibilité électromagnétique

Résumé

Ce travail de thèse s’inscrit dans une thématique de recherche de techniques novatrices de blindage électromagnétique pour répondre aux besoins des fabricants de circuits intégrés et intégrateurs finaux de systèmes électroniques. En effet les résultats de ce travail, donnent les grands axes d’orientation vers l’industrialisation d’une technique de blindage par dépôts de couches métalliques minces, de type, Cuivre, Nickel et Or. Cette technique permet d’avoir une efficacité de blindage d’au moins 15dB à 35dB sur une large bande de fréquence de 500Mhz à 2. 5 Ghz pour des perturbations de nature Electrique ou Magnétique. Et ce, malgré les faibles performances qualité du capot avec ses blindages. Le calcul théorique, ainsi que les simulations nous ont permis d avoir une idée précise sur les éléments principaux qui influencent l’efficacité du blindage (à savoir l’épaisseur du dépôt, la continuité de la masse). Les mesures électriques en champ proche de l’efficacité de blindage étaient en forte corrélation avec les simulations électromagnétiques et ont prouvé la grande performance de ce blindage en basses fréquences (jusqu’ à 1GHz) contre les perturbations de type magnétiques.

This thesis is part of an innovation thematic research in the electromagnetic shielding, to meet the needs of integrated circuits manufacturers and final integration of electronic systems. The results of this work, provide the main orientation of industrialisation of a shielding technique by deposition of thin metal layers, such as, Copper, Nickel and Or. This technique provides a shielding effectiveness of at least 15dB to 35dB over a wide frequency range of 500Mhz to 2. 5 Ghz for disturbances such as electric or magnetic. And, despite the low quality of the performance hood with its shielding. The theoretical calculations and simulations have allowed us to have a clear idea about the main elements that influence the effectiveness of shielding (the thickness of the deposit, the continuity of ground). The near-field measurements of shielding effectiveness were highly correlated with the electromagnetic simulations and proved the high performance of the shielding at low frequencies (up to 1GHz) against the type of magnetic disturbances.