Thèse soutenue

Gestion de la contamination en microélectronique avancée
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Auteur / Autrice : Yannick Borde
Direction : Jean-Charles JoudAlain Denoyelle
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Sciences des matériaux
Date : Soutenance en 2008
Etablissement(s) : Grenoble INPG

Mots clés

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Mots clés contrôlés

Résumé

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La performance globale d’un site de production peut directement dépendre de sa stratégie de prise en compte de la contamination et sa croissance et pérennité sont liées à sa capacité à faire face à de nouveaux contaminants. Les règles de lutte contre la contamination doivent autoriser une introduction rapide des technologies potentiellement perturbatrices tout en gardant des coûts associés le plus faible possible. Cette thèse apporte une meilleure compréhension du thème contamination en explorant des sujets pointus avec une approche scientifique novatrice par rapport à l’état de l’art en micro et nano électronique : étude de la dangerosité des éléments métalliques vis-à-vis du silicium et de l’oxyde de silicium, transfert de contaminants par contact physique ou par voie gazeuse. . . Elle se concrétise par la mise en place de règles de fonctionnement en égard à la contamination, cohérentes et fondées sur de réelles bases scientifiques.