Contribution à la modélisation et au développement de techniques de test et d'analyse dynamiques de circuits intégrés par faisceau laser pulsé

par Alexandre Douin

Thèse de doctorat en Sciences physiques et de l'ingénieur. Électronique

Sous la direction de Pascal Fouillat.

Soutenue en 2008

à Bordeaux 1 .

mots clés

• Circuits intégrés
• Lasers
• Ions lourds

Résumé

Ce travail présente le développement de techniques de test et d’analyse optiques dynamiques des circuits intégrés par faisceau laser impulsionnel. Le contexte de l’étude est présenté par une revue de la littérature des techniques de test et d’analyse optiques utilisées dans le domaine de la microélectronique. Une étude sur l’influence de la durée d’impulsion laser sur la signature photoélectrique a été menée par simulation physique. L’utilisation d’impulsions laser ultracourtes a été ainsi mise en exergue. Deux techniques expérimentales (PULS et TRLS) de test et d’analyse des circuits intégrés par impulsions laser ultracourtes ont été développées et caractérisées. Un large panel de circuits de synchronisation a été étudié pour améliorer la résolution temporelle de la technique TRLS. Les deux techniques PULS et TRLS ont été validées par différentes analyses effectuées sur des circuits numériques.

Titre traduit

Contribution to the modeling and the technical development of dynamic analysis and test of integrated circuits using pulsed laser beam

Résumé

This work presents the development of dynamic optical testing techniques of integrated circuits by ultrashort laser pulses. The motivations of this work are presented through a review of the literature of optical testing techniques used in microelectronics. A study on the influence of the laser pulse duration on the photoelectric signature is performed by physical device simulation. The use of ultrashort laser pulses has been highlighted. Two experimental testing techniques (PULS and TRLS) of integrated circuits by ultrashort laser pulses have been developed and characterized. Many synchronization circuits have been designed to improve the temporal resolution of the TRLS technique. Both techniques, PULS and TRLS, are validated by various tests performed on digital devices.