Auteur / Autrice : | Li Feng |
Direction : | François Bastien, Jean-François Manceau, Yihui Wu |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Sciences pour l'ingénieur |
Date : | Soutenance en 2008 |
Etablissement(s) : | Besançon en cotutelle avec Changchun institute of optics (China) |
Partenaire(s) de recherche : | autre partenaire : Université de Franche-Comté. UFR des sciences et techniques |
Mots clés
Mots clés contrôlés
Résumé
Les domaines de la santé et du contrôle de l'environnement ont une demande croissante de capteurs capables de détecter de faible quantité d'agents toxiques ou de particules solides dans des gaz ou des liquides. Les capteurs acoustiques, avec leur réponse rapide, leur portabilité, leur utilisation aisée et leurs petites tailles sont typiquement prometteurs pour la reconnaissance d'anticorps par des antigènes spécifiques ou l'absorption de protéines sur des surfaces préparées. Le principe de détection de ces capteurs utilise la variation de fréquence de la résonance d'une onde. Parmi les capteurs acoustiques, le capteur à ondes de Lamb semble le mieux placé pour les applications biochimiques, en raison de sa sensibilité et de son aptitude à fonctionner dans un liquide. De plus, dans cette thèse, nous montrerons que les capteurs à ondes de Lamb ont la possibilité de mesurer plusieurs paramètres simultanément. Dans cette thèse, l'onde de Lamb a été modélisée et des simulations numériques ont été effectuées par la méthode des éléments finis. Ces méthodes peuvent être appliquées aux ondes de Lamb pour des géométries et des conditions aux limites complexes. Les résultats de la simulation nous aident à concevoir et optimiser les capteurs à ondes de Lamb. Nous avons développé la conception et la fabrication de capteur à ondes de Lamb. La première amélioration a été d'utiliser pour le dépôt d'AIN des couches Mo/Ti/Si plutôt que Al/Si. La seconde a porté sur la réduction des contraintes internes de la membrane. Après sa fabrication, le capteur à ondes de Lamb a été étudié complètement, y compris la réponse en fréquence, la durée de propagation des ondes et la vibration de la membrane. . .