TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2007GRE10252
TI  - Lithographie de nouvelle génération par nanoimpression assistée par UV : étude et développement de matériaux et procédés pour l'application microélectronique
AU  - Voisin, Pauline
A3  - Boussey, Jumana
PY  - 2007
SP  - 1 vol. (171 p.)
N1  - Thèse de doctorat Micro et nanoélectronique Université Joseph Fourier (Grenoble ; 1971-2015) 2007
N1  - 2007GRE10252
ER  -