@PHDTHESIS{voisi2007, url = " http://www.theses.fr/2007GRE10252", title = "Lithographie de nouvelle génération par nanoimpression assistée par UV : étude et développement de matériaux et procédés pour l'application microélectronique", author = "Voisin, Pauline", year = "2007", pages = "1 vol. (171 p.)", note = "Thèse de doctorat dirigée par Boussey, Jumana Micro et nanoélectronique Grenoble 1 2007", note = "2007GRE10252", }