Etude des techniques d'accordabilité des résonateurs acoustiques BAW pour les communications mobiles de 4ème génération

par Moustapha El Hassan

Thèse de doctorat en Sciences physiques et de l'ingénieur. Électronique

Sous la direction de Eric Kerhervé et de Yann Deval.

Soutenue en 2007

à Bordeaux 1 .

mots clés

• Décalage en fréquence
• Elements passifs
• Filtre BAW-SMR
• Interrupteurs MEMS
• Multi-standard
• Cavités résonnantes (acoustique)
• Radiocommunications mobiles
• Filtres électriques actifs
• MOS (électronique)

Résumé

Dans les systèmes de communication mobiles, tous les filtres et résonateurs qui constituent la partie radiofréquence ont tendane à être intégrés sur la même puce. Les résonateurs à ondes acoustiques de volume (BAW - Bulk Acoustic Wave) présentent des tailles réduites et peuvent être fabriqués en utilisant des matériaux compatibles CMOS VLSI. Ces résonateurs sont des éléments à très haut coefficient de qualité, critère fondamental pour les filtres intermédiaires et duplexeurs qui doivent assurer une forte réjection hors bande, tout en ayant le minimum de pertes d'insertion dans la bande et surtout une excellente isolation entre les voies de réception et d'émission. Les travaux présentés dans cette thèse s'inscrivent dans le cadre de cette réflexion. Ils proposent une étude des résonateurs et des filtres BAW accordables intégrés radiofréquences dans le système d'émission - réception du standard WLAN 802. 11 b/g. L'innovation apportée par la partie radiofréquence de cette thèse concerne essentiellement la possibilité de changer les caractéristiques des filtres BAW-SMR pour compenser les variations dues au procédé de fabrication technologique. Nous proposons des techniques capables d'accorder les résonateurs et les filtres BAW-SMR en fréquence. Ainsi, nous présentons la méthodologie de conception, l'étude, la caractérisation et la réalisation expérimentale des filtres BAW-SMR (Solidly Mounted Resonator) accordables en fréquence.

Titre traduit

A study on the different techniques to reconfigure the bulk acoustic Wave (BAW) resonators for the 4th generation of mobile communications

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