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Etude des interfaces dans des systèmes multicouches métal-céramique de taille nanométrique

Lamour, Patrice (1977-...)

2006

Résumé

La présente recherche a consisté à élaborer une méthodologie complète de caractérisation des interfaces métal-céramique, comme l’interface SiOx/TaNx des interconnexions cuivre des puces microélectroniques. [...]
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