Fiabilité des résonateurs de type BAW pour les applications dans le secteur des télécommunications

Reliability of bulk acoustic wave resonators for wireless applications

• Auteur / Autrice : Brice Ivira
• Direction : Fabien Ndagijimana, Philippe Benech
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Micro et nanoélectronique
• Date : Soutenance en 2006
• Etablissement(s) : Grenoble INPG

Mots clés

Mots clés contrôlés

ANSYS (système informatique)

Caméras infrarouges

Cavités résonnantes (acoustique)

Mots clés libres

Auto-échauffement

Baw

Fem

Rf

Résumé

L'impact des fortes températures et forts taux d'humidité sur les résonateurs BA West déterminé grâce aux caractérisations RF, diffraction et fluorescence X. Ensuite, les TCF des différentes technologies de BA W sont déterminées bien au-delà des gammes de températures spécifiques au domaine des télécommunications. Pour améliorer la stabilité thermique des structures, la compensation en température est étudiée de manière théorique. D'autre part, pour étudier l'auto échauffement, un banc en puissance RF a été spécialement conçu dans le cadre de ce projet pour mesurer en temps réelle coefficient de réflexion à l'entrée du résonateur. Une caméra infrarouge ayant une résolution spatiale de 2 /lm/pixel permet une cartographie précise de la température. Enfin, des analyses 3D FEM sont comparées aux mesures infrarouges.

Impact of high temperatures and important humidity atmosphere on Bulk Acoustic Wave (BA W) resonators is determined by means of RF characterizations, X-rays diffraction and fluorescence. Afterwards, the TCF ofvarious BA W technologies is determined well above temperature specifications of wireless systems. To improve thermal stability of structures, temperature compensation is studied in a theorical manner. Furthermore, for studying self. Heating aspects, an RF power bench was specially designed for this project in order to measure, in real time, the reflection coefficient at resonator's input. An infrared camera having a spatial resolution as good as 2 /lm/pixel allows us mapping accurately temperature. Finally, comparison between 3D FEM analysis and IR measures is done