TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2006GRE10250
TI  - Étude des propriétés morphologiques, électriques et chimiques de l'interface métal/isolant et de leur impact sur les performances de la capacité TiN/Ta2O5/TiN
AU  - Gaillard, Nicolas
A3  - Bsiesy, Ahmad
PY  - 2006
SP  - 1 volume (x-196 pages)
N1  - Thèse de doctorat Micro et nanoélectronique Université Joseph Fourier (Grenoble ; 1971-2015) 2006
N1  - 2006GRE10250
ER  -