Effets de la fréquence d'excitation sur l'uniformité du plasma dans les réacteurs capacitifs grande surface

par Amélie Hacala Perret

Thèse de doctorat en Physique des plasmas

Sous la direction de Jacques Jolly et de Pascal Chabert.

Soutenue en 2004

à Palaiseau, École polytechnique .

Le président du jury était Laïfa Boufendi.

Le jury était composé de Allan J. Lichtenberg, Mustapha Elyaakoubi.

Les rapporteurs étaient Jean-Pierre Boeuf, Laïfa Boufendi.


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Informations

  • Détails : 1 vol. (139 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 135-138, 47 réf.

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  • Bibliothèque : École polytechnique. Bibliothèque Centrale.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : VI.5 HAC.EFF

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  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : 2004EPXX0015
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