@PHDTHESIS{soyer2003,
url = "
		http://www.theses.fr/2003VALE0038",
title = "Gravure par faisceau d'ions de films minces de titano-zirconate de plomb (PZT) : étude des dégradations engendrées et contribution à l'intégration aux microsystèmes",
author = "Soyer, Caroline",
year = "2003",
pages = "1 vol. (VII-242 p.)",
note = "Thèse de doctorat dirigée par Remiens, Denis Électronique Valenciennes 2003",
note = "2003VALE0038",
}