Uniquement les thèses soutenues
Uniquement les thèses soutenues accessibles en ligne
Monochromateurs multicouches à bande passante étroite et à faibre fond continu pour le rayonnement X-UV
par Rabah Benbalagh
Thèse de doctorat en Physique
Sous la direction de Robert Barchewitz.
Soutenue en 2003
à Paris 6 .
- Rayonnement X-UV
- Miroirs multicouches
- Gravure ionique réactive
- Lithographie
- Réseau lamellaire multicouches
- Réflectométrie X-UV
- Résolution
- Monochromateurs
mots clés
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Titre traduit
Soft X-ray multilayers monochromators with improved resolution and low specular background
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Pas de résumé disponible.
