Densification de films d'oxydes transparents conducteurs SnO2:Sb déposés par voie sol-gel : étude comparative de différents types de recuits

• Auteur / Autrice : Silviu Cosmin Sandu
• Direction : Marie-Geneviève Blanchin, Jean-Alain Roger, Valentin Serban Teodorescu
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 2003
• Etablissement(s) : Lyon 1

Mots clés

Mots clés contrôlés

Sol-gel, Procédé

Résumé

Les films d'OTC trouvent d'applications dans les domaines ou une bonne transparence dans le visible et une bonne conductivité électrique sont nécessaires. La voie sol-gel utilisée pour SNO2:SB dans ce mémoire, est une technologie douce. Pour densifier et cristalliser ces films, 3 types de recuits: classiques (CTA), rapide sous lampes (RTA) et par irradiation laser (LA)- ont été testés. L'étude structurale MET a permis de corréler les conditions d'élaboration aux propriétés optiques et électriques. Pour les multicouches un mécanisme pour le processus de densification est proposé. L'augmentation de la densification et de la taille des cristallites avec le nombre des couches induit une importante diminution de la resistivité électrique. Les films RTA présentent une meilleure homogénéité que les CTA pour des temps de recuit 30 fois inférieurs. Les LA ont permis de confiner le traitement thermique dans la couche, ouvrant ainsi la voie à l'élaboration d'OTC sur des matériaux thermosensibles.