Thèse soutenue

Réalisation par gravure RIBE de guides optiques en polyimide : Contribution à leur caractérisation dans un modulateur électrooptique
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Auteur / Autrice : Charles Cornic
Direction : André MolitonBruno Lucas
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Électronique des hautes fréquences et optoélectronique
Date : Soutenance en 2003
Etablissement(s) : Limoges
Partenaire(s) de recherche : autre partenaire : Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques

Mots clés

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Mots clés contrôlés

Mots clés libres

Résumé

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Ce travail est consacré à la mise au point de filières technologiques permettant de montrer la faisabilité d'un modulateur de phase à base de matériaux organiques. Nous avons décrit les étapes technologiques permettant de réaliser des guides d'ondes optiques à base d'un polyimide fluoré le 6FDA/MPDA. Elles s'appuient principalement sur l'utilisation de la photolithographie et la gravure RIBE. Grâce à ces procédés, nous avons obtenu des guides d'ondes présentant des parois verticales. Des pertes par propagation de l'ordre de 0,5 dB/cm à la longueur d'onde de 1,3 micron ont été mesurées par la méthode CutBack. Pour la réalisation d'un modulateur de phase tout polymère nous avons utilisé comme couche guidante le même polyimide fluoré fonctionnalisé avec un colorant le DR1 cette couche est prise en sandwich entre deux couches de matériaux organiques. A l'aide d'une caméra infra rouge, nous avons montré la propagation de l'onde guidée et validé ainsi tout un ensemble de procédés technologiques.