Evolution morphologique des nanostructures Si(1-x)Ge(x) pendant la croissance par EJM
Auteur / Autrice : | Alina Mihaela Pascale |
Direction : | Alberto Pimpinelli |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Sciences des matériaux |
Date : | Soutenance en 2003 |
Etablissement(s) : | Aix-Marseille 2 |
Partenaire(s) de recherche : | autre partenaire : Université d'Aix-Marseille II. Faculté des sciences (1969-2011) |
Mots clés
Mots clés contrôlés
Résumé
Dans ce travail nous avons étudié l'auto-organisation d'îlots de Ge sur des substrats vicinaux de Si nanostructurés en utilisant un processus à deux étapes qui consiste en :1) l'auto-structuration naturelle du substrat et 2) la nucléation préférentielle des îlots de Ge sur les motifs créés. Après des rappels bibliographiques dans les trois premiers chapitres, nous présentons les résultats, à la fois théoriques et expérimentaux, dans les deux derniers chapitres. En particulier, nous avons mis en évidence : a) une pseudo-barrière Ehrlich-Schwoebel inverse implicite à l'origine de l'instabilité cinétique qui se développe durant l'homoépitaxie Si/Si(001), avec des exposants critiques en bon accord avec la théorie et b) une réduction importante de l'énergie élastique d'un système comprenant un îlot de Ge, une couche de mouillage de Ge et un substrat à motifs de Si (où chaque motif est représenté par des marches) lorsque le motif possède au moins trois marches.