Membranes micro-usinées par gravure chimique anisotrope : application à la caractérisation des films minces
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Auteur / Autrice : | Kamran Danaie |
Direction : | Alain Bosseboeuf |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Génie des procédés industriels et haute technologie |
Date : | Soutenance en 2002 |
Etablissement(s) : | Paris 6 |
Mots clés
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