Développement d'un nouveau système d'implantation ionique en immersion plasma et analyses des processus de nitruration de matériaux métalliques et semi-conducteurs
par Laurent Marot
Thèse de doctorat en Milieux denses et matériaux
Sous la direction de Alain Straboni.
Soutenue en 2001
à Poitiers , dans le cadre de École doctorale Sciences pour l'ingénieur et aéronautique (Poitiers ; 1992-2008) , en partenariat avec Université de Poitiers. UFR des sciences fondamentales et appliquées (autre partenaire) .
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Titre traduit
Development of a new system of plasma based ion implantation and analysis of the nitridation mechanisms of metal and semiconductors
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Autre version
Cette thèse a donné lieu à une publication en 2003 par [CCSD] à Villeurbanne
Développement d'un nouveau système d'implantation ionique en immersion plasma et analyses des processus de nitruration de matériaux métalliques et semi-conducteurs
