Codeur optique miniature de haute résolution pour (micro)systèmes électro-mécaniques
par Yves Jourlin
Thèse de doctorat en Sciences. Dispositifs de l'électronique intégrée
Sous la direction de Olivier Parriaux.
Soutenue en 2000
à Saint-Etienne .
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Résumé
La technologie de mesure de déplacement de l'interférométrie diffractante à été développée dans l'objectif d'une miniaturisation. Le travail comprend la technologie de fabrication de la règle de mesure et du réseau de lecture de période submicronique ainsi que le design et la fabrication d'un Opto-ASIC spécifique. Le principe interférentiel a été mis en oeuvre sous la forme d'un prototype de tête de lecture hybride miniature selon une nouvelle configuration après qu'une étude exhaustive sur les tolérances de fabrication et de montage ait été faite. Le prototype est prêt à être inséré dans divers systèmes électro-mécaniques. Le système développé a été utilisé comme un outil de caractérisation de très haute résolution pour le test de la cohérence spatiale de grands réseaux.
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Résumé
The displacement measurement technology of diffractive interferometry has been developed in the objective of miniaturization. This work encompasses the manufacturing technologies of the grating scale and the submicron period readout grating, the design and MPW fabrication of a dedicated Opto-ASIC. The interference principle has been implemented in the form of a miniature read head prototype according to a novel device configuration after an exhaustive discussion on the fabrication and mouting tolerances has been made. The prototype is now ready for use in an electro-mechanical system. The system has been used as a high resolution characterization tool for the testin of the spatial coherence of long grating scales.
