TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2000ISAL0054
TI  - Élaboration et caractérisation de films de SiO2 déposés à basse température (50°C)
AU  - Pecheur, Alexandra
A3  - Pinard, Pierre
PY  - 2000
SP  - 1 vol. (144 p.)
N1  - Thèse de doctorat Dispositifs de l'électronique intégrée Lyon, INSA 2000
N1  - 2000ISAL0054
ER  -