Thèse soutenue

Optimisation de la microstéréolithographie par masque dynamique : application à la réalisation de microactionneurs
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Auteur / Autrice : Virginie Loubère
Direction : Serge Corbel
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Sciences et techniques
Date : Soutenance en 2000
Etablissement(s) : Vandoeuvre-les-Nancy, INPL

Mots clés

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Mots clés contrôlés

Résumé

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Les microtechnologies ont fait apparaître de réels besoins de micro-objets tridimensionnels qui pourront servir de structures de base à des microactionneurs. Ce travail de thèse a permis de concevoir et fabriquer des microactionneurs de type micropinces, par le procédé de microstéréolithographie. La réalisation et l'optimisation d'une machine de microstéréolithographie basée sur une matrice à cristaux liquides comme générateur de masques et une lumière visible non cohérente, ont abouti à la fabrication de démonstrateurs complexes. La caractérisation physico-chimique du matériau utilisé pour la structure polymère de la micropince a permis d'obtenir les résultats suivants : une diminution de la viscosité du mélange photopolymérisable et par conséquent une augmentation de la vitesse de fabrication ; une résolution transversale optimale de 2 x 2 [micro]m2 ; une résolution verticale d'environ 10 [micro] m, limitée par l'épaisseur optique du matériau. L'étude du comportement mécanique des pièces, plus particulièrement du module de Young a montré une rigidité suffisante pour la structure déformable de la micropince. Les micropinces de taille millimétrique réalisées grâce à une technique d'assemblage basée sur l'insertion d'un fil en Alliage à Mémoire de Forme dans une structure en polymère au cours du procédé de microstéréolithographie, permettent une valeur maximale de déplacement d'environ 64 [micro]m et une fréquence de fonctionnement de 0,1 Hz.