TY  - THES
DP  - 
		http://www.theses.fr/1999PA112171
TI  - Depot de films minces ferroelectriques de pb(zr,ti)o 3 (pzt) par pulverisation cathodique rf magnetron en mode reactif. Etude correlee du plasma et des proprietes physiques des films deposes
AU  - AYGUAVIVES, FRANCISCO
A3  - Agius, Bernard
PY  - 1999
SP  - 277 p.
N1  - Thèse de doctorat Physique Paris 11 1999
N1  - 1999PA112171
ER  -