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Conception, Modélisation, Réalisation et Caractérisation d'un Micro Miroir Actif en Silicium

par Gilles Robert

Thèse de doctorat en Sciences. Microélectronique

Sous la direction de Serge Spirkovitch.

Soutenue en 1999

à Paris 7 .

  • Titre traduit

    Conception, modélisation, fabrication and testing of a silicon micromachined deformable mirror


  • Pas de résumé disponible.

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La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 1 vol., 184 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 179-183

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Institut d'optique Graduate school. Bibliothèque.
  • Disponible pour le PEB
  • Bibliothèque : Université Paris Cité - BU des Grands Moulins (Paris). Direction générale déléguée aux bibliothèques et musées. Bibliothèque universitaire des Grands Moulins.
  • Accessible pour le PEB
  • Cote : TS1999

Cette version existe également sous forme de microfiche :

  • Bibliothèque : Université Grenoble Alpes (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque et Appui à la Science Ouverte. Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : MF-1999-ROB
  • Bibliothèque : Université Paris-Est Créteil Val de Marne. Service commun de la documentation. Section multidisciplinaire.
  • PEB soumis à condition
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