Reseaux en regime sublongueur d'ondes : etude des proprietes antireflechissantes et application dans le domaine infrarouge

Subwavelength gratings : study of antireflection properties and application to the infrared bavowidth

• Auteur / Autrice : MARIE-PAULE JUREK
• Direction : Philippe Lalanne
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 1998
• Etablissement(s) : Paris 11

Résumé

L'objet de cette these est l'etude theorique et experimentale dans le domaine infrarouge des proprietes antireflechissantes des reseaux optiques sublongueur d'onde. La partie theorique traite dans un premier temps des methodes d'analyse electromagnetique qui decrivent le comportement en champ proche et en champ lointain des multicouches et des reseaux de diffraction. Pour ces derniers, elle donne une description precise de la methode d'analyse rigoureuse des ondes couplees et les ecritures correctes des champs. Elle se consacre dans un deuxieme temps aux theories des milieux effectifs. Ces theories approchees s'appliquent aux reseaux sublongueur d'onde dont les comportements s'apparentent a des materiaux homogenes caracterises par des lois d'indice fonction des profils des reseaux. Elle propose dans un dernier temps une methode d'optimisation des profils antireflet et rend compte des performances sur la bande spectrale 8-12 m des reseaux de profils binaires, continus et multiniveaux. La partie experimentale detaille la realisation et la caracterisation optique de profils antireflet a la longueur d'onde 10. 6 m. Elle presente des reseaux sublongueur d'onde binaires, graves dans de l'arseniure de gallium par photolithographie uv et gravure rie. Elle decrit les bancs de mesure et verifie que le comportement angulaire en onde plane puis en onde focalisee ainsi que la tenue au flux des reseaux realises sont en bon accord avec les theories.