Etude fondamentale et adaptation à la pulvérisation cathodique d'un réacteur à plasma radiofréquence

par Ould Mohamed Mohamed Salem

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jean-Francis Loiseau.

Soutenue en 1997

à Pau .

mots clés

• Générateurs de plasma

Résumé

L'utilisation des decharges radiofrequences est tres repandue dans l'industrie. L'optimisation des reacteurs a plasma consiste a ameliorer le transfert d'energie du generateur au plasma lui meme. L'amelioration du rendement energetique a ete obtenue a l'aide d'un choix judicieux de la geometrie des electrodes et du systeme d'adaptation d'impedance. L'etude experimentale de la puissance effective transmise au plasma, montre que l'adaptateur en l assure le meilleur transfert d'energie en particulier pour les pressions inferieures a 100 mtorr. Une nouvelle approche experimentale est proposee afin d'etudier la dependance entre la geometrie du reacteur et la distribution de potentiel de la decharge (loi des aires). Les resultats obtenus sont compares aux previsions de modeles theoriques representatifs. Le controle du plasma est effectue a la fois par sonde electrostatique et par spectroscopie d'emission. Une sonde et son circuit de compensation ont ete realises dans le but de determiner les differents parametres du plasma (densites des particules, temperature electronique et energie des ions bombardant la surface du substrat). Un diagnostic optique base sur les intensites d'emission a permis d'etudier la distribution axiale de l'energie des electrons, le controle de la stabilite et l'influence du pourcentage d'azote sur l'efficacite du processus de pulverisation. Le reacteur est utilise dans des conditions de depot par pulverisation cathodique d'une cible d'aluminium sous atmosphere argon ou argon-azote. Les vitesses de depot obtenues sont en bon accord avec les resultats anterieurs. L'augmentation du pourcentage d'azote a ete correlee avec la decroissance de la vitesse de depot. Enfin, l'analyse de composition des films obtenus a ete realisee par spectroscopie xps.

Titre traduit

Fundamental study and adaptation to sputtering of a capacitively coupled radiofrequency plasma reactor

Pas de résumé disponible.